Afin d'atteindre le vide idéal, la machine de revêtement sous vide doit être équipée d'un système de pompage sous vide, alors la pompe à diffusion est l'un des composants de pompage essentiels de la machine de revêtement sous vide. L'entretien de la pompe est essentiel. Aujourd'hui, l'éditeur de Huicheng Vacuum détaille les étapes de maintenance de la pompe à diffusion de la machine de revêtement sous vide. J'espère que cela peut vous aider:
1. Pendant le fonctionnement de la machine de revêtement sous vide, l'eau de refroidissement de la pompe à diffusion doit être dégagée. Une fois le chauffage arrêté, l'eau de refroidissement doit être coupée une fois que le fluide de travail de la pompe a été complètement refroidi.
2. Lorsque la pompe à diffusion cesse de fonctionner, il convient de noter que l'état de vide doit être maintenu dans la pompe pour éviter la détérioration de l'huile de la pompe.
3. Le gaz à pomper doit être sec, non corrosif et sans poussière.
4. Si la pompe à diffusion n'est pas utilisée temporairement, elle doit être maintenue sous vide pendant le stockage pour éviter la pollution par l'huile de la pompe et la corrosion de diverses pièces et souffler l'eau restante dans la chemise d'eau de refroidissement. La température ambiante pour garder le lieu doit être comprise entre 10 et 40 degrés Celsius.
5. Les performances de la pompe à diffusion se détériorent progressivement après un fonctionnement à long terme et doivent être vérifiées régulièrement. Tels que : si l'huile de la pompe est réduite ou oxydée, faites le plein ou remplacez-la selon les exigences correspondantes ; les pièces et les chambres de pompe sont d'abord nettoyées avec de l'essence d'aviation, puis frottées avec de l'acétone et séchées à 80-100 degrés Celsius ou séchées avec un sèche-cheveux . Après le traitement, assemblez-les dans l'ordre, maintenez le noyau de la pompe et le fond de la pompe verticaux et concentriques avec la cavité de la pompe, et ajustez les écarts des buses à tous les niveaux selon les exigences d'origine.
6. Une fois l'eau évaporée et séchée, installez le noyau de la pompe, ajoutez une nouvelle huile de pompe à diffusion, remettez-la dans le corps, connectez le tuyau d'eau et installez la plaque de cuisson électrique, puis elle peut être redémarrée.
7. Avant de redémarrer la machine, faites attention à la détection des fuites. La méthode est la suivante : démarrez la pompe de maintenance, fermez la porte de la chambre à vide et, après quelques minutes, observez si le degré de vide est de 6 * 10 0 Pa, sinon effectuez une détection de fuite, vérifiez si la bague en caoutchouc d'étanchéité est manquante. au niveau du raccord ou la bague d'étanchéité est écrasée. Le chauffage ne peut être effectué qu'après avoir éliminé le danger caché de fuite d'air, sinon l'huile de la pompe à diffusion brûlera et ne pourra pas entrer en état de fonctionnement.
Pendant le fonctionnement de la machine de revêtement sous vide, bien que l'entretien de la pompe à diffusion soit essentiel, la machine de revêtement sous vide est composée de nombreux composants, et la défaillance d'un composant affectera directement le fonctionnement normal de la machine de revêtement sous vide. L'entretien de la pompe à diffusion est essentiel, et l'entretien des autres composants est également indispensable.