Machine de revêtement sous vide par évaporation et introduction du principe physique- Ningbo Honyu Vacuum Technology Co., Ltd.

Évaporation machine de revêtement sous vide et introduction aux principes physiques

La machine de revêtement sous vide par évaporation est principalement composée d'une chambre à vide et d'un système de pompage sous vide. La chambre à vide contient une source d'évaporation (c'est-à-dire un réchauffeur d'évaporation), un substrat et un support de substrat, un réchauffeur de substrat, une alimentation électrique, une nacelle d'évaporation et une tige d'électrode. Le système de vide comprend le pompage grossier, le pompage intermédiaire, le pompage fin, etc., y compris la pompe mécanique, la pompe Roots, la pompe à diffusion ou la pompe moléculaire.

Le matériau de revêtement est placé dans la source d'évaporation dans la chambre à vide. Dans des conditions de vide poussé, la source d'évaporation est chauffée pour l'évaporer. Lorsque le libre parcours moyen des molécules de vapeur est supérieur à la taille linéaire de la chambre à vide, les atomes et les molécules de la vapeur du film s'évaporent de la source d'évaporation. Une fois que la surface de la source s'est échappée, elle est rarement heurtée et gênée par d'autres molécules ou atomes, et peut atteindre directement la surface du substrat à plaquer. En raison de la basse température du substrat, les particules de vapeur du matériau du film se condensent dessus pour former un film.

Afin d'améliorer l'adhésion entre les molécules évaporées et le substrat, le substrat peut être activé par un chauffage approprié ou un nettoyage ionique. Le processus physique du revêtement par évaporation sous vide depuis l'évaporation du matériau, le transport jusqu'au dépôt et la formation du film est le suivant :

(1) Utiliser diverses méthodes pour convertir d'autres formes d'énergie en énergie thermique, chauffer le matériau du film pour qu'il s'évapore ou se sublime, et devenir des particules gazeuses (atomes, molécules ou groupes atomiques) avec une certaine énergie (0,1 ~ 0,3 eV) :

(2) Les particules gazeuses quittent la surface du matériau de la membrane et sont transportées vers la surface du substrat en ligne droite avec une vitesse de déplacement substantielle sans collision ;

(3) Les particules gazeuses atteignant la surface du substrat se condensent et nucléent et se développent en un film solide ;

(4) Les atomes constituant le film mince sont réarrangés ou chimiquement liés.

La machine de revêtement sous vide quotidienne utilise la technologie d'évaporation pour recouvrir l'aluminium, le fluorure de magnésium, l'or, l'argent, etc., car ils ont l'avantage d'un point de fusion bas, ce qui est pratique pour une évaporation et une sublimation rapides.