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Principe de la pompe mécanique de la machine de revêtement sous vide
La pompe mécanique de la machine de revêtement sous vide est également appelée pompe primaire. La pompe mécanique est la pompe à vide faible la plus utilisée. Il utilise de l'huile pour maintenir l'effet d'étanchéité et modifie en permanence le volume de la cavité d'aspiration dans la pompe par des méthodes mécaniques. Le volume de gaz dans le récipient pompé se dilate continuellement pour obtenir un vide. Il existe de nombreux types de pompes mécaniques, et les quatre types couramment utilisés sont le type à tiroir, le type à piston alternatif, le type à palettes fixes et le type à palettes rotatives.
La composition de la pompe mécanique de la machine de revêtement sous vide. La pompe mécanique est souvent utilisée pour éliminer l'air sec, mais elle ne peut pas éliminer le gaz à haute teneur en oxygène, le gaz explosif et corrosif, et la pompe mécanique est généralement utilisée pour éliminer le gaz permanent. , mais il n'a pas un bon effet sur la vapeur d'eau, il ne peut donc pas éliminer la vapeur d'eau. Les pièces principales de la pompe à palettes rotatives sont le stator, le rotor, les éclats d'obus, etc. Le rotor est à l'intérieur du stator mais a un mandrin différent du stator, comme deux cercles inscrits. Il est garanti que les éclats d'obus sont solidement fixés à la paroi interne du stator.
Les deux éclats d'obus de la pompe mécanique de la machine de revêtement sous vide jouent alternativement deux rôles. D'une part, le gaz est aspiré depuis l'entrée d'air, et d'autre part, le gaz aspiré est comprimé et le gaz est refoulé hors de la pompe. La pompe effectue deux aspirations et deux refoulements pour chaque rotation du rotor. Lorsque la pompe tourne en continu dans le sens des aiguilles d'une montre, la pompe à palettes rotatives inhale en continu du gaz à travers l'entrée d'air et le décharge en continu de l'orifice d'échappement pour atteindre l'objectif de pomper le conteneur. Afin d'améliorer le degré de vide ultime de la pompe, le stator de la pompe est immergé dans l'huile, de sorte que suffisamment d'huile soit toujours conservée dans les interstices et les espaces nocifs partout pour combler les interstices, de sorte que l'huile joue un rôle de lubrification sur d'une part, et d'autre part. D'une part, il joue le rôle de sceller et de bloquer les interstices et les espaces nocifs, empêchant les molécules de gaz de refluer dans l'espace à basse pression à travers différents canaux.
La pompe mécanique de la machine de revêtement sous vide commence à fonctionner à partir de l'atmosphère. Ses principaux paramètres sont le vide limite et le débit de pompage, qui sont la base importante pour la conception et la sélection de la pompe mécanique. La pompe à un étage peut pomper le conteneur de l'atmosphère jusqu'au vide ultime de 1,0*10-1PA, et la pompe mécanique à deux étages peut pomper le conteneur de l'atmosphère à 6,7*10-2PA, voire plus.
Le débit de pompage fait référence au volume de gaz qui peut être déchargé par unité de temps lorsque la pompe à palettes rotatives fonctionne au nombre de tours nominal, qui peut être calculé par la formule suivante :
Sth=2nVs=2nfsL
fs représente la section transversale de la cavité à la fin de l'inhalation, L représente la longueur de la cavité, le coefficient représente que le rotor a deux processus d'épuisement par tour, et Vs représente que lorsque le rotor est à l'horizontale position, l'inhalation se termine et le volume dans la cavité est le plus grand à ce moment. , la vitesse est n.
L'effet d'échappement de la pompe mécanique de la machine de revêtement sous vide est également lié à la vitesse du moteur et à l'étanchéité de la courroie. Lorsque la courroie du moteur est relativement lâche et que la vitesse du moteur est très lente, l'effet d'échappement de la pompe mécanique s'aggravera également, il est donc nécessaire de souvent Entretien, inspection, l'effet d'étanchéité de l'huile de pompe mécanique a également besoin à inspecter fréquemment. Si l'huile est trop petite, l'effet d'étanchéité ne sera pas atteint et la pompe fuira de l'air. Généralement, le niveau d'huile est à 0,5 cm sous la ligne.