À l'heure actuelle, la plupart des films durs mécaniquement fonctionnels (en particulier les films utilisés pour les outils de coupe) dans le monde utilisent la technologie de dépôt à l'arc cathodique. performances des applications ; en particulier, le problème des particules de l'équipement de dépôt à l'arc cathodique fabriqué dans le pays est particulièrement sérieux. L'introduction de la technologie de filtration magnétique sur la base de cette technologie peut résoudre le problème des particules déposées sur la surface, mais l'efficacité du dépôt n'est que d'environ 1/10 de l'original, et la zone de dépôt est petite, de sorte que le cycle de production est longtemps, le coût de fabrication est élevé et il ne convient pas au revêtement de masse. demandes de fabrication. La surface du film préparé par la technologie de pulvérisation magnétron est lisse et délicate, la vitesse de dépôt est modérée et le film peut être déposé uniformément sur une grande surface. Cependant, la technologie de pulvérisation magnétron a également un faible taux d'ionisation (généralement 10%), et le film préparé n'est pas aussi bon que le film préparé par la technologie à arc cathodique en termes de dureté, de résistance à l'usure et de force de liaison ; un revêtement réactif chimique est réalisé. (tels que TiN, TiO2), en raison du faible taux d'ionisation et de la faible réactivité des particules métalliques, le gaz réactif doit être introduit en excès, provoquant un empoisonnement (réaction chimique) de la surface cible du magnétron, provoquant une série d'avalanches telles qu'un réduction du taux d'évaporation. En conséquence, le revêtement réactif de pulvérisation magnétron est instable et incontrôlable.

Par conséquent, il y a machines multifonctionnelles de revêtement sous vide ionique sur le marché. Grâce à un grand nombre d'expériences et d'applications industrielles, le projet est parvenu aux conclusions suivantes :

(1) La machine de revêtement ionique multifonctionnelle conçue avec plusieurs technologies de revêtement est un succès et les performances complètes du système de revêtement établi occupent une position de leader en Chine.

(2) L'équipement peut préparer un film multicouche composé d'un film de type diamant et d'un composé d'azote métallique (ou de carbone) avec une surface lisse et dense, une surface lisse et délicate et d'excellentes performances sur une grande surface et à faible coût.

(3) L'utilisation d'une couche de transition intermédiaire à gradient multicouche spéciale et d'une technologie de dopage réduit la contrainte interne, améliore la force de liaison film/substrat et favorise la croissance de la couche de film (jusqu'à 6 mm d'épaisseur).

(4) Le film DLC préparé a d'excellentes propriétés complètes : dureté> 20GPa (jusqu'à 37,25 GPa), épaisseur réglable (jusqu'à 6 mm d'épaisseur), force de liaison film / base> 50N (jusqu'à 100N), coefficient de frottement <0,2, le le film est lisse et délicat.

(5) Le revêtement autolubrifiant multicouche développé matrice/Cr/CrN/CrTiAlN/CrTiAlCN/CrTiC/DLC résistant à l'usure et à la chaleur a de bonnes propriétés complètes : la dureté est jusqu'à 28,7 GPa, l'épaisseur est réglable de 1-4mm, et le film La force de liaison /base est supérieure à 70N et le coefficient de frottement est inférieur à 0,2.

(6) Le film développé résistant à l'usure et antifriction a été appliqué avec succès à une variété de moules de haute précision et de composants clés de précision. Les résultats de l'application montrent que l'effet de renforcement de surface de la couche de film est remarquable, ce qui peut grandement améliorer la qualité et la durée de vie du produit.

Machine de revêtement tribologique de métal en acier inoxydable

Le placage ionique à arcs multiples introduit divers modes de décharge de gaz dans le domaine du dépôt en phase vapeur sous vide. L'ensemble du procédé de dépôt en phase vapeur est réalisé en procédé plasma. Il peut être appliqué non seulement sur la surface des produits métalliques, mais également sur la surface des produits non métalliques. Il peut être plaqué avec un film métallique, du nitrure de titane, du carbure de titane, du nitrure de zirconium, du nitrure de chrome, de l'oxyde de titane et d'autres films.