La machine de revêtement sous vide par pulvérisation magnétron se compose de nombreux composants, dont chacun a sa propre utilisation unique, et est indispensable. La machine de revêtement sous vide par pulvérisation magnétron se compose d'un système de vide, d'un système traditionnel, d'un système de chauffage, d'un système de refroidissement, d'un système de distribution d'air de traitement et d'un système de pulvérisation magnétron.

Système de vide : L'équipement du système de vide est concentré dans la zone de la chambre à vide, composé d'équipements de pompage (pompe mécanique, pompe Roots, pompe moléculaire), d'équipements de test (jauge de résistance, jauge d'ionisation, jauge à membrane), soupape de sécurité (vanne à cavité, pompe moléculaire) vanne à clapet, pompe à palettes rotatives pompe Roots vanne auto-amorçante, vanne de canalisation et vanne de rupture d'air); à travers la pompe à palettes rotatives> pompe Roots> pompe à relais de pompe moléculaire, la pression dans la chambre est modifiée de l'atmosphère au vide, et en Maintenir un environnement de vide adapté à la production pendant le processus de production.

Le principe de fonctionnement de la pompe à vide à palettes rotatives, la pompe à palettes rotatives est composé d'un stator, d'un rotor, d'une palette rotative, d'un couvercle fixe, d'un ressort et d'autres pièces. Sa structure consiste à utiliser le rotor excentrique installé dans la cavité du clou (le cercle extérieur du rotor est tangent à la surface intérieure du stator et l'écart entre les deux est très faible) et les deux rotors qui coulissent dans la fente du rotor et adhérer à la paroi interne du stator au moyen de la tension du ressort et de la force centrifuge. Lorsque le rotor tourne, il glisse toujours le long de la paroi interne du stator.

Dans la jauge à vide à thermocouple, un courant d'intensité constante est passé à travers le fil Pt comme un fil chaud. Après avoir atteint l'équilibre thermique, la puissance de chauffage fournie par le courant est égale à la puissance perdue par le rayonnement thermique de l'espace, la conduction thermique du métal et la conduction thermique moléculaire du gaz. Par conséquent, la température du fil chaud changera régulièrement avec le degré de vide.

La jauge Pirani est appelée jauge à vide à résistance thermique, son principe de fonctionnement est similaire à celui de la jauge à vide à thermocouple. Une jauge à vide poussé, souvent utilisée en conjonction avec une jauge à thermocouple, est appelée une jauge à ionisation, et c'est l'outil de mesure le plus couramment utilisé dans la plage de vide poussé.

La jauge à vide de type film sous vide est une sorte de jauge à vide qui s'appuie sur un film métallique pour générer un déplacement mécanique sous l'action de la différence de pression de gaz, de sorte qu'elle peut être utilisée pour la mesure de pression de gaz absolue, et le résultat de la mesure n'a rien à voir avec le type de gaz .

Le vacuomètre à membrane possède deux chambres à vide isolées. Lorsque la pression dans une chambre à vide est connue et que la pression dans l'autre chambre à vide est inconnue, le déplacement de la membrane sera proportionnel à la différence de pression entre les deux chambres. Proportionnel, afin d'améliorer la précision de la mesure, le déplacement du film est réalisé en mesurant la variation de capacité entre le film et une autre électrode métallique.

Dans une large gamme, la jauge à vide à couche mince a une bonne linéarité et sa limite de détection est d'environ 10-3pa, ce qui équivaut à la détection du déplacement de la couche mince à une seule échelle atomique.

Le système de transmission de la machine de revêtement sous vide par pulvérisation magnétron : le système traditionnel dispose d'un total de 24 moteurs d'entraînement, 4 pour chaque plate-forme de chargement et de déchargement, 11 pour la zone de traitement et 5 pour la section de retour. En plus de la transmission, le reste des électrodes est à transmission unidirectionnelle;

Machine de revêtement par pulvérisation magnétron DC

Corps de machine complet avec acier inoxydable 304 de haute qualité, conception d'eau de refroidissement à double couche

Plusieurs ensembles de sources d'arc ionique nouvellement développées sont raisonnablement équipés pour assurer efficacement la stabilité et l'uniformité de la pulvérisation de source d'arc.

Le système d'admission d'air multicanal est adopté pour contrôler avec précision le débit de gaz afin de répondre à vos exigences pour une variété de films composés.

Combinée à la technologie de polarisation pulsée, l'énergie des particules électriques est grandement améliorée, de manière à obtenir une excellente adhérence et finition du film.

L'équipement est principalement largement utilisé dans: les produits de quincaillerie, l'artisanat du verre, l'artisanat de la céramique, tels que les produits de salle de bain, les montres et les horloges, les couteaux, les moules, le verre cristal, les outils de golf, les lampes, les montures de lunettes, les carreaux de céramique, les carreaux de sol, etc.

Matériaux de traitement : acier inoxydable, cuivre, fer, alliage de zinc, aluminium, ABS, verre, céramique, etc.

L'état de surface des matériaux de traitement : surface brillante de la galvanoplastie ordinaire, surface muette (semi-muette, complètement muette), processus de galvanoplastie, brosse, gouttes de pluie, etc.

Les couleurs de placage sont : translucide, or, argent, or rose, noir, noir foncé, vert, bleu, violet, arc-en-ciel, etc.