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Comment mesurer l'épaisseur du film d'une machine de revêtement sous vide?
Dans notre vie quotidienne, de nombreux objets du quotidien sont recouverts d'une couche de film par le Machine de revêtement , ce qui rend les produits non seulement plus beaux, mais aussi plus pratiques. Mais beaucoup de gens se poseront une question puisqu'il est recouvert d'une couche de film, le film doit avoir une épaisseur, alors quelle est l'épaisseur du film, et comment le mesurer ?
Le film mince doit être déposé sur le substrat, il n'y a donc pas de problème de dépôt de film mince sans le substrat. La qualité de nettoyage du substrat a l'influence la plus importante sur la qualité du film. En même temps, il est nécessaire de connaître l'épaisseur du film lors de la production du film. Il est inutile de parler de la mesure des propriétés du film sans l'épaisseur du film. Par conséquent, la mesure de l'épaisseur du film et le nettoyage du substrat peuvent être considérés comme des technologies importantes liées à la production de films minces. Généralement, la soi-disant épaisseur fait référence à la distance entre deux plans parallèles complètement plats. Ce concept est un concept géométrique. L'épaisseur de film idéale fait référence à la distance entre la surface du substrat et la surface du film. Dans la mesure tridimensionnelle de la topographie du film, par rapport à l'épaisseur du film, les autres mesures bidimensionnelles peuvent être dites infinies. Étant donné que la surface réelle est inégale et discontinue et qu'il peut y avoir des pores, des impuretés, des défauts de réseau et des molécules d'adsorption de surface dans le film, toute l'épaisseur du film doit être strictement définie et mesurée avec précision. est très difficile. Le bit de définition de l'épaisseur du film doit être déterminé en fonction de la méthode de mesure d'adresse et de l'objectif de la mesure d'adresse. Par conséquent, le même film, en utilisant différentes méthodes de mesure, obtiendra des résultats différents, c'est-à-dire des épaisseurs différentes.
La mesure de surface dans une couche mince d'huile n'est pas un concept géométrique, mais un concept enfoui, qui fait référence à la collection de molécules de surface (atomes). La surface moyenne signifie que la somme algébrique des distances de tous les points des atomes de surface à cette surface est égale à zéro, et la surface moyenne est une sorte de concept.
Nous nous référons généralement à la surface moyenne de la collection de molécules de surface sur un côté du substrat en tant que surface du substrat ; la surface moyenne de la surface du côté du film qui n'est pas en contact avec le substrat est appelée surface de forme du film. Les atomes sont réarrangés de sorte que la densité soit exactement la même que celle du matériau solide en vrac et uniformément répartie sur la surface du substrat. A ce moment, la surface moyenne est appelée surface équivalente de la masse du film ; selon les propriétés physiques du film mesuré, il équivaut à une longueur de Un film mince d'un matériau solide en vrac de même largeur que le film mince mesuré, la surface moyenne à ce moment est appelée la surface équivalente des propriétés physiques du film. L'épaisseur du film de forme est l'épaisseur du film la plus proche de la forme intuitive, généralement en µm ; l'épaisseur du film de masse reflète la quantité de substances contenues dans le film, généralement en µg/cm#8217;, et l'épaisseur physique du film est plus pratique en utilisation pratique. Utile et relativement facile à mesurer.
Étant donné que la surface réelle n'est pas plate et qu'en même temps, divers défauts, impuretés et molécules adsorbées sont inévitablement présents dans le processus de production du film, quelle que soit la méthode utilisée pour définir et mesurer l'épaisseur du film, il s'agit d'une valeur moyenne. , et L'épaisseur du film est suffisante pour contenir les impuretés, les défauts et les molécules adsorbées.
Le revêtement de la machine de revêtement sous vide est effectué sous la chambre à vide. Pour mesurer l'épaisseur du film, un instrument de mesure professionnel dans ce domaine est nécessaire pour mesurer l'épaisseur. Dans des circonstances normales, les fabricants de machines de revêtement sous vide proposent généralement cet appareil A à vendre.